南大光电：有两款ArF光刻胶进入批量验证阶段 部分原材料外购解决

南大光电：有两款ArF光刻胶进入批量验证阶段部分原材料外购解决南大光电称，面对激烈的市场竞争，公司充分发挥协同效应，利用高品质、好服务、低成本的优势，在巩固存量市场份额的同时，通过提高产品品质和渠道建设，加速全球IC客户的渗透和海外OLED市场的开拓，提升增量空间，努力保持三氟化氮业务的平稳增长。对于市场关注较高的ArF光刻胶进展，南大光电称，ArF光刻胶验证阶段主要分为PRS（光刻胶性能测试）、STR（小试）、MSTR（批量验证）及Release（通过验证）四个阶段。公司已有两款胶通过客户验证，多款胶正在验证过程中。验证中的ArF光刻胶因开始时间不一，验证进度也不同，其中有两款胶进入MSTR阶段。当前公司光刻胶事业部主要任务是尽快完成更多产品的验证，加强市场拓展，争取早日实现规模量产，形成业绩贡献。南大光电还表示，公司用于生产ArF光刻胶的核心原材料，由公司自主研发，对于国内具备供应能力的原材料，通过外购解决。不过，据行业人士透露，南大光电ArF光刻胶验证主要在国内存储大客户，短期来看出货量可以忽略不计。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1382681.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1382681.htm

恒坤股份：自主研发的 KrF、ArF 光刻胶已通过大厂验证并产业化 目前该类光刻胶国产化率不到 2%

恒坤股份：自主研发的KrF、ArF光刻胶已通过大厂验证并产业化目前该类光刻胶国产化率不到2%厦门市集成电路行业协会官微消息，厦门恒坤股份是国内主要芯片企业的材料供应商，占据12英寸晶圆制程用国产光刻胶主要市场份额，有效填补该领域的多项国内空白。据了解，厦门恒坤已建成海沧总部研发中心和三个生产基地，在12英寸晶圆制造前道制程应用上，自产光刻胶累计出货突破20000加仑，前驱体累计出货300吨，填补先进技术节点多项国内空白，有效解决了集成电路产业链“卡脖子”问题。据悉，厦门恒坤自主研发的KrF、ArF光刻胶已通过大厂验证并实现产业化，截至目前该类光刻胶国产化率不到2%。此外，厦门恒坤几十款光刻材料产品已批量供货给国内多家芯片制造龙头企业，并可就近配套省内的集成电路企业，助推福建省集成电路产业升级。

中国科研团队完成新型光刻胶技术初步验证 为EUV光刻胶开发做技术储备

中国科研团队完成新型光刻胶技术初步验证为EUV光刻胶开发做技术储备且光刻显影各步骤所需时间完全符合半导体量产制造中对吞吐量和生产效率的需求。作为半导体制造不可或缺的材料，光刻胶质量和性能是影响集成电路电性、成品率及可靠性的关键因素。但光刻胶技术门槛高，市场上制程稳定性高、工艺宽容度大、普适性强的光刻胶产品屈指可数。当半导体制造节点进入到100nm甚至是10nm以下，如何产生分辨率高且截面形貌优良、线边缘粗糙度低的光刻图形，成为光刻制造的共性难题。该研究成果有望为光刻制造的共性难题提供明确的方向，同时为EUV光刻胶的着力开发做技术储备。上述具有自主知识产权的光刻胶体系在产线上完整了初步工艺验证，并同步完成了各项技术指标的检测优化，实现了从技术开发到成果转化的全链条打通。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1425913.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1425913.htm