半导体设备板块震荡走高，芯源微大涨超10%，广立微、华海清科、拓荆科技、长川科技等涨幅靠前。

半导体设备板块震荡走高，芯源微大涨超10%，广立微、华海清科、海目星、拓荆科技、长川科技等涨幅靠前。

半导体设备板块震荡走低拓荆科技大跌7%半导体设备板块盘中震荡走低，拓荆科技、华海清科大跌7%，芯源微、中微公司、北方华创、华峰测

半导体设备板块震荡走强亚翔集成午后涨停半导体设备板块震荡走强，亚翔集成午后直线涨停，芯源微、拓荆科技、北方华创、中微公司均涨超5

半导体设备板块震荡走强联动科技涨超10%半导体设备板块震荡走强，联动科技涨超10%，芯碁微装、耐科装备、北方华创、金海通、拓荆科

半导体板块持续走高，华天科技涨停，纳芯微、捷捷微电、南大光电、思瑞浦、拓荆科技、天岳先进等十余家成分股涨超10%。