中国科研团队完成新型光刻胶技术初步验证 为EUV光刻胶开发做技术储备

中国科研团队完成新型光刻胶技术初步验证为EUV光刻胶开发做技术储备且光刻显影各步骤所需时间完全符合半导体量产制造中对吞吐量和生产效率的需求。作为半导体制造不可或缺的材料，光刻胶质量和性能是影响集成电路电性、成品率及可靠性的关键因素。但光刻胶技术门槛高，市场上制程稳定性高、工艺宽容度大、普适性强的光刻胶产品屈指可数。当半导体制造节点进入到100nm甚至是10nm以下，如何产生分辨率高且截面形貌优良、线边缘粗糙度低的光刻图形，成为光刻制造的共性难题。该研究成果有望为光刻制造的共性难题提供明确的方向，同时为EUV光刻胶的着力开发做技术储备。上述具有自主知识产权的光刻胶体系在产线上完整了初步工艺验证，并同步完成了各项技术指标的检测优化，实现了从技术开发到成果转化的全链条打通。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1425913.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1425913.htm

青鸟消防：公司在消防无人机作为应急救援工具领域内已有相应技术储备

青鸟消防：公司在消防无人机作为应急救援工具领域内已有相应技术储备青鸟消防在投资者互动平台表示，目前，公司在消防无人机作为应急救援工具的领域内已有相应技术储备。青鸟消防旗下企业科力恒消防装备有限公司，正积极推进灭火装备与无人机的结合。其联合研发的无人机设计为一次可喷射30-50次灭火剂，搭载的5升脉冲炮技术能在远距离实现精准、高效的灭火作业，极大地提升了应急救援的效率与安全性。青鸟消防将持续关注该领域内的技术进步与市场需求，积极探索与外部合作伙伴的协同创新，以期在未来适当的时候，能够为市场提供更加全面、先进的消防应急救援解决方案。