英特尔完成首台商用高数值孔径 EUV 光刻机组装

英特尔完成首台商用高数值孔径 EUV 光刻机组装 4 月 18 日，美国芯片公司英特尔宣布，已接收并完成组装业界首台商用高数值孔径（High NA）极紫外（EUV）光刻机。据介绍，这套重达 165 吨的设备是阿斯麦（ASML）与英特尔合作数十年后开发的新一代光刻设备，现位于俄勒冈州的 D1X 制造工厂，正在进行最后的校准。 来源：财经慢报频道

价值27亿元的ASML高数值孔径EUV光刻机组装画面公开

价值27亿元的ASML高数值孔径EUV光刻机组装画面公开 ASML预计今年能出货“数台”High NA EUV。 英特尔已下了订单，第一台设备已于去年12月送达该公司俄勒冈工厂，这台EUV可以制造8nm线宽电路，比前一代小1.7倍，从而实现晶体管密度提高至2.9倍。电路越细，芯片上的晶体管就越多，处理速度和表现就越佳。 ASML高管表示，该设备对人工智能（AI）发展至关重要。ASML CEO Peter Wennink上月受访时表示，AI需要“大量计算能力和数据储存。 如果没有ASML，没有ASML的技术，将无法实现。 这会是我们业务的一大驱动力。”ASML发言人莫尔斯（Monique Mols）2月10日在媒体参观该公司总部时说，安装这套重达15万公斤的系统，要用到250个货箱、250名工程师，且需耗时6个月。ASML从2018年开始销售的所谓low-NA（低数值孔径）光刻机设备NXE系列，标价是1.7亿欧元（约合13.16亿元人民币）。 ... PC版： 手机版：

Intel晒史上最贵开箱 全球首台高NA光刻机已装机

Intel晒史上最贵开箱 全球首台高NA光刻机已装机 目前安装的还只是核心组件，全部搞定需要250多名ASML、Intel的工程师，耗时约6个月，然后还得花时间调试。这台光刻机主要作为研究之用，将会在Intel 18A节点上进行测试，但大规模量产得等到刚刚宣布的Intel 14A节点上，时间预计2025-2026年左右 。该光刻机可以实现8nm的分辨率，而现有低NA光刻机单次曝光只能做到13nm，同时晶体管密度几乎可以增加3倍。大家非常关心的价格上，ASML的说法是大约3.8亿美元，但这只是起步价，更高配置自然更贵，Intel CEO帕特·基辛格透露在4亿美元左右，也就是逼近29亿元。相比之下，低NA EUV光刻机约为1.83亿美元。除了Intel，三星、台积电、SK海力士也都订购了高NA EUV光刻机，首批订单有数十台。 ... PC版： 手机版：

俄罗斯完成制造首台 350 纳米制程的光刻机

俄罗斯完成制造首台 350 纳米制程的光刻机 俄罗斯首台光刻机已经制造完成并正在进行测试，俄罗斯联邦工业和贸易部副部长 Vasily Shpak 指出，该设备可支持生产最终到达350纳米工艺的芯片。 Shpak 告诉媒体：“我们组装并制造了第一台国产光刻机。作为泽廖诺格勒技术生产线的一部分，目前正在对其进行测试。”俄罗斯接下来的目标是在2026年制造可以支持130nm工艺的光刻机。