2nm 以下节点装备竞赛打响,台积电魏哲家密访 ASML 总部 - IT之家

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2nm大战 全面打响 #抽屉IT

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2nm半导体代工上游设备领域竞赛拉开帷幕:台积电、三星和 Rapidus 纷纷布局 #抽屉IT

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台积电总裁魏哲家:台积电仍在开发1.4nm芯片技术。 标签: #台积电 #芯片 频道: @GodlyNews1 投稿: @God

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ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片

ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。 ... PC版: 手机版:

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2nm时代来临:ASML本周交付第三代EUV光刻机

2nm时代来临:ASML本周交付第三代EUV光刻机 ASML Twinscan NXE:3800E代表了低数值孔径 EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和匹配的加工覆盖方面的飞跃。新系统每小时可在 30 mJ/cm^2 剂量下处理超过 195 个晶圆,并有望通过吞吐量升级将性能进一步提高至 220 wph。此外,新工具还提供小于 1.1 nm 的匹配机器覆盖(晶圆对准精度)。ASML 在 X 上发布的一份声明中透露:“芯片制造商需要速度。第一台 Twinscan NXE:3800E 现已安装在一家芯片工厂中。凭借其新的晶圆台,该系统将为打印先进芯片技术提供领先的生产力。”我们正在将光刻技术推向新的极限。”在为逻辑制造商生产采用4nm/5nm和 3nm 级工艺技术的芯片时,吞吐量的增加将提高 Twinscan NXE:3800E 机器的经济效益。ASML Twinscan NXE:3800E 的性能改进预计将显着缓解EUV 技术的主要缺点之一,即性能相对较低,从而实现更高效、更具成本效益的芯片生产。这将使依赖 EUV 的工艺技术更容易被预算不像苹果、AMD、英特尔、英伟达和高通那样庞大的芯片设计者所接受。此外,该工具对于美光、三星和 SK 海力士等内存制造商也至关重要。此外,Twinscan NXE:3800E 的增强性能对于采用 2nm 以及需要 EUV 双图案化的后续制造技术制造芯片特别有用。匹配机器覆盖层的改进将有利于 3nm 以下生产节点。(图片来源:ASML)然而,像 NXE:3800E 这样的机器的复杂性和功能的代价是高昂的成本,每台的价格约为 1.8 亿美元。如此高的成本意味着这些光刻工具的成本需要一段时间才能折旧。然而,对于 ASML 的客户(包括一组精选的重要逻辑和内存制造公司)来说,NXE:3800E 提供了一条增强其尖端芯片生产能力的途径。这对于这些公司来说至关重要,因为他们努力满足全球对半导体不断增长的需求,扩大生产能力并管理芯片制造的经济性。引入 NXE:3800E 等更先进、更高效的 EUV 扫描仪对于实现这些目标至关重要。展望未来,ASML并没有满足于现状,计划以Twinscan NXE:4000F 的形式进行进一步创新,这是另一代低数值孔径 EUV 扫描仪,预计于 2026 年左右发布。这一持续开发强调了 ASML 致力于推进低数值孔径的承诺-NA EUV 制造技术,尽管即将采用高数值孔径光刻工具。 ... PC版: 手机版:

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台积电公布A16 1.6nm工艺:对比2nm性能提高10%、功耗降低20%

台积电公布A16 1.6nm工艺:对比2nm性能提高10%、功耗降低20% 据了解,台积电在此次的北美技术论坛中,首度公开了台积电A16(1.6nm)技术,结合领先的纳米片晶体管及创新的背面供电(backside power rail)解决方案以大幅提升逻辑密度及性能,预计于2026年量产。台积电还推出系统级晶圆(TSMC-SoWTM)技术,此创新解决方案带来革命性的晶圆级性能优势,满足超大规模数据中心未来对AI的要求。台积电指出,适逢台积电北美技术论坛举办30周年,出席贵宾人数从30年前不到100位,增加到今年已超过2,000位。北美技术论坛于美国加州圣塔克拉拉市举行,为接下来几个月陆续登场的全球技术论坛揭开序幕,本技术论坛亦设置创新专区,展示新兴客户的技术成果。台积电总裁魏哲家博士指出,我们身处AI赋能的世界,人工智慧功能不仅建置于数据中心,而且也内置于个人电脑、移动设备、汽车、甚至物联网之中。台积电为客户提供最完备的技术,从全世界最先进的硅芯片,到最广泛的先进封装组合与3D IC平台,再到串连数位世界与现实世界的特殊制程技术,以实现他们对AI的愿景。此次论坛公布新技术包括:台积电A16技术随着台积电领先业界的N3E技术进入量产,接下来的N2技术预计于2025年下半年量产,台积电在其技术蓝图上推出了新技术A16。据介绍,A16将结合台积电的超级电轨(Super PowerRail)构架与纳米片晶体管,预计于2026年量产。该超级电轨技术将供电网络移到晶圆背面,为晶圆正面释放出更多信号网络的布局空间,借以提升逻辑密度和性能,让A16适用于具有复杂信号布线及密集供电网络的高效能运算(HPC)产品。台积电表示,相较于N2P制程,A16在相同Vdd(工作电压)下,速度增快8-10%,在相同速度下,功耗降低15-20%,芯片密度提升高达1.10倍,以支持数据中心产品。台积电创新的NanoFlex技术支持纳米片晶体管台积电即将推出的N2技术将搭配TSMC NanoFlex技术,展现台积电在设计技术协同优化的崭新突破。TSMC NanoFlex为芯片设计人员提供了灵活的N2标准元件,这是芯片设计的基本构建模块,高度较低的元件能够节省面积并拥有更高的功耗效率,而高度较高的元件则将性能最大化。客户能够在相同的设计内存块中优化高低元件组合,调整设计进而在应用的功耗、性能及面积之间取得最佳平衡。N4C技术台积电还宣布将推出先进的N4C技术以因应更广泛的应用。N4C延续了N4P技术,晶粒成本降低高达8.5%且采用门槛低,预计于2025年量产。据介绍,N4C提供具有面积效益的基础硅智财及设计法则,皆与广被采用的N4P完全兼容,因此客户可以轻松移转到N4C,晶粒尺寸缩小亦提高良率,为强调价值为主的产品提供了具有成本效益的选择,以升级到台积电下一个先进技术。CoWoS、系统整合芯片、以及系统级晶圆(TSMC-SoW)台积电的CoWoS是AI革命的关键推动技术,让客户能够在单一中介层上并排放置更多的处理器核心及高带宽内存(HBM)。同时,台积电的系统整合芯片(SoIC)已成为3D芯片堆叠的领先解决方案,客户越来越趋向采用CoWoS搭配SoIC及其他元件的做法,以实现最终的系统级封装(System in Package,SiP)整合。台积电系统级晶圆技术提供了一个革新的选项,让12英寸晶圆能够容纳大量的晶粒,提供更多的运算能力,大幅减少数据中心的使用空间,并将每瓦性能提升好几个数量级。台积电已经量产的首款SoW产品采用以逻辑芯片为主的整合型扇出(InFO)技术,而采用CoWoS技术的芯片堆叠版本预计于2027年准备就绪,能够整合SoIC、HBM及其他元件,打造一个强大且运算能力媲美数据中心服务器机架或甚至整台服务器的晶圆级系统。硅光子整合台积电正在研发紧凑型通用光子引擎(COUPE)技术,以支持AI热潮带来的数据传输爆炸性成长。COUPE使用SoIC-X芯片堆叠技术将电子裸晶堆叠在光子裸晶之上,相较于传统的堆叠方式,能够为裸晶对裸晶界面提供最低的电阻及更高的能源效率。台积电计于2025年完成支持小型插拔式连接器的COUPE验证,接着于2026年整合CoWoS封装成为共同封装光学元件(Co-Packaged Optics,CPO),将光连接直接导入封装中。车用先进封装继2023年推出支持车用客户及早采用的N3AE制程之后,台积电借由整合先进芯片与封装来持续满足车用客户对更高运算能力的需求,以符合行车的安全与质量要求。台积电正在研发InFO-oS及CoWoS-R解决方案,支持先进驾驶辅助系统(ADAS)、车辆控制及中控电脑等应用,预计于2025年第四季完成AEC-Q100第二级验证。 ... PC版: 手机版:

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