锁死半导体发展的，也许不是光刻机而是电费

锁死半导体发展的，也许不是光刻机而是电费 EUV 光源的能源转换效率只有 0.02% 左右，耗电量是传统ArF光刻机的10倍。那些没被转换成极紫外光的99.98%电能，大都会转换成热量耗散而去，这又需要耗费大量电力去散热。 #阅读材料