科学家利用LBO晶体研制出最强大的紫外激光器

科学家利用LBO晶体研制出最强大的紫外激光器 DUV光谱中的激光器已经在科学技术中有许多应用,如缺陷检测、光谱学、光刻和计量学。传统上,氟化氩(ArF)激光器已被用于产生高功率193nm激光器,用于光刻等应用。DUV激光器的其他应用包括微电子设备的生产,半导体集成电路,以及用于进行眼科手术的医学。在这些应用中,它通常被称为准分子激光器。然而,这些激光器不是完全相干的,因此不能用于更敏感的应用,如干涉光刻,在这种应用中,精细的特征必须以阵列的形式印刷。如此精细的应用需要更加相干的激光器,这为研究人员制造混合准分子激光器提供了机会。什么是混合准分子激光器?为了达到相干性要求,科学家们一直在考虑用固态种子代替气体(ArF)振荡器,使其成为混合激光器。除了提高相干性外,该设计还旨在提高激光的光子能量,使其甚至可以与碳化合物一起使用,并且产生最小的热影响。为了实现这一目标,193nm种子激光器的线宽需要保持在4千兆赫以下。声明称,这是通过使用目前可用的固态激光技术看到的对干涉至关重要的相干长度。在DUV激光器上取得了什么成果?中国科学院的研究人员通过使用LBO晶体实现了与193纳米混合准分子激光器相同的线宽。在他们的装置中,研究人员使用了一种复杂的两阶段和频率产生过程来实现60毫瓦(60兆瓦)的激光输出。该装置包括两个激光器,一个是258纳米,另一个是1553纳米。这些激光器分别来自镱混合激光器和掺铒光纤激光器,最终形成2mm×2mm×30mm Yb: YAG体晶体,提供所需的激光输出。由此产生的DUV激光脉冲持续时间为4.6纳秒(ns),重复频率为6千赫兹(kHz),线宽约为640兆赫(MHz)。值得注意的是,193nm激光器及其伴随的221nm激光器的输出功率为60mW,这是使用LBO晶体产生的最高功率。221-193nm转换效率为27%,258 - 193nm转换效率为3%,也创下了新的基准。这一研究证明了“用固态激光器泵浦LBO的可行性,可以可靠有效地产生193nm的窄线宽激光,并为使用LBO制造成本效益高的大功率DUV激光系统开辟了一条新途径。”因此,研究人员相信,LBO晶体可以用于产生更多的DUV激光器,输出功率从几毫瓦到几瓦不等,为这些波长开辟了进一步的途径。这项研究结果发表在《高级光子联系》(Advanced Photonic Nexus)杂志上。 ... PC版: 手机版:

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科学家发明新型半导体激发技术 横滨国立大学的科学家和加州理工学院的同事利用高强度、宽频带的超快太赫兹脉冲,在一种二维半导体材料中实现了原子激发,推动了电子设备的发展。他们的论文于 3 月 19 日发表在《应用物理通讯》(Applied Physics Letters)杂志上,并作为编辑推荐文章。二维(2D)材料或片状纳米材料因其独特的电子特性而成为未来半导体应用的理想平台。过渡金属二掺杂物(TMDs)是二维材料中的一个重要类别,由夹在掺杂物原子层之间的过渡金属原子层组成。这些原子以晶格结构排列,可以围绕其平衡位置振动或振荡这种集体激发被称为相干声子,在决定和控制材料特性方面起着至关重要的作用。声波诱导技术的创新传统上,相干声子由可见光和近红外区域的超短脉冲激光器诱导。使用其他光源的方法仍然有限。横滨国立大学工程科学研究生院助理教授、该研究的第一作者 Satoshi Kusaba 说:"我们的研究解决了超快太赫兹频率激光器(或低能光子)如何在 TMD 材料中诱导相干声子这一基本问题。"WSe2 中声子的超快宽带太赫兹激发和偏振旋转探测示意图。获得的结果(右下)包括通过和频过程激发的相干声子振荡信号(右上)。资料来源:Satoshi Kusaba / 横滨国立大学太赫兹辐射是指频率在太赫兹范围内的电磁波,介于微波和红外频率之间。研究小组制备了超快宽带太赫兹脉冲,以诱导一种名为WSe2 的 TMD 薄膜中的相干声子动力学。为检测光学各向异性(换句话说,即光在穿过材料时的表现),研究人员安排了一套精确而灵敏的装置。研究人员研究了超短激光脉冲与材料相互作用时电场方向的变化;这些变化被称为偏振旋转。通过仔细观察微小的诱导光学各向异性,研究小组成功地探测到了太赫兹脉冲诱导的声子信号。"我们的研究最重要的发现是,太赫兹激发可以通过一个独特的和频激发过程在TMD中诱导相干声子,"研究时的加州理工学院博士生、本研究的共同第一作者Haw-Wei Lin说。"这种机制与共振和线性吸收过程有着本质区别,它涉及两个太赫兹光子的能量总和与声子模式的能量总和相匹配"。由于通过这种和频过程可以激发的声子模式的对称性完全不同于更典型的共振线性过程,因此本研究中成功使用的激发过程对于完全控制材料中的原子运动非常重要。这项研究成果的意义超出了基础研究的范畴,有望在现实世界中得到广泛应用。"通过和频激发过程,我们可以利用太赫兹激发相干地控制二维原子位置,"Kusaba说。"这可能为控制 TMD 的电子状态打开大门,这对于开发谷电技术和使用 TMD 的电子设备,实现低功耗、高速计算和专用光源,是大有可为的"。编译来源:ScitechDaily ... PC版: 手机版:

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