3D NAND原厂技术比拼 哪家垂直单元效率更高?

3D NAND原厂技术比拼 哪家垂直单元效率更高? 传统的NAND闪存单元采用平面晶体管结构,包括控制栅极(Control Gate)和浮动栅极(Float Gate)。通过向单元施加电压,电子在浮动栅极中存储和移除。多年来,供应商将平面 NAND 的单元尺寸从 120nm 缩小到 1xnm 节点,使容量增加了 100 倍。然而,当单元尺寸达到了 14nm 的极限,这意味着该技术不再可扩展,由此NAND原厂纷纷转向3D NAND,以实现超过 2D NAND 结构的数据密度,并能够在更新一代的技术节点上制造。具体来说,平面 NAND 由带有存储单元的水平串组成,而在 3D NAND 中,存储单元串被拉伸、折叠并以“U 形”结构垂直竖立。实际上,这些单元以垂直方式堆叠以缩放密度,因此,3D NAND存储单元有多个层级。3D NAND的层数描述了堆叠在一起的字线(Word Line)数量。在这些字线层上切出一个垂直柱,柱子与每条字线的交点代表一个物理单元。也就是说,每个 3D NAND 存储单元都类似于一个微小的圆柱形结构。每个微小单元由中间的垂直通道和结构内部的电荷层组成,通过施加电压,电子可以进出绝缘电荷存储膜,然后读取信号。平面 NAND 在每个节点上都减小了单元尺寸, 3D NAND 则采用了更宽松的工艺,大约在 30nm 到 50nm 之间。3D NAND 内存容量的扩展主要是通过添加垂直层来实现的,在这种3D NAND结构中,单元密度会随着堆栈中层数的增加而增加。然后,每隔一到两年,供应商就会从一代技术迁移到下一代技术。根据研究数据显示,供应商平均每代 3D NAND 都会增加 30% 至 50% 的层数,而每一代新的芯片将会增加 10% 至 15% 的晶圆成本。这也使得NAND 的每bit成本能够平均以每年约20%幅度降低。现在,超过200层的TLC NAND 产品已经逐渐成为主流,比如三星236层NAND 、SK 海力士 238层NAND、美光 232层NAND 、YMTC 232层NAND。此外还有一些接近200层的厂商,比如铠侠(KIOXIA)和西部数据的 112层/162层NAND 和 Solidigm 的 144层/ 192层 (FG) NAND。Techinsights从 SK 海力士 2TB SSD PC811 HFS002TEM9X152N (设备:H25T3TDG8C-X682) 中提取了 SK 海力士 238L 512 Gb 3D NAND 芯片,该芯片尺寸为 34.56mm2,位密度为 14.81 Gb/mm2。谈到 3D NAND 单元效率,垂直单元效率 (VCE,vertical cell efficiency) 对于 NAND 单元工艺、设计、集成和设备操作而言非常重要。随着堆叠的总栅极数量的增加,单元 VC(vertical cell)孔高度也会增加。为了降低 VC 高度和纵横比,其中一种方法是通过减少虚拟栅极(dummy gates)、通过栅极(passing gates)和选择栅极(select gates)的数量来提高垂直单元效率。垂直单元效率可以用总栅极中active cell 的百分比来定义,也就是用active WL (Word Line)除以集成的总栅极数来计算。垂直单元效率越高,工艺集成度越高,纵横比越低,整体效率越高。VCE可定义为活跃单元占总栅极的比例,即Active WL 数量除以总集成栅极数量 x 100%。例如,一个NAND串由Active WL、通道WL(含dummy WL)和选择器(源极/漏极)组成。若其包含96个Active WL和总计115个栅极,则VCE为83.5%,计算方法为96/115×100%。VCE越高,对工艺集成越有利,能实现更低的纵横比和更高的生产效率。Techinsights发现,在多代 3D NAND 产品中,三星始终以最高的垂直单元效率领跑行业。他们最新的多层V-NAND 在前几代以高效著称的基础上,拥有令人印象深刻的垂直单元效率。美光和YMTC也在其产品中展示了强劲的垂直单元效率数据,这反映出它们在减少虚拟栅极、通过栅极和选择栅极数量方面取得了显著进步,从而优化了垂直单元效率。△3D NAND 垂直单元效率趋势总结来看,三星每一代产品的VCE都是最高的,比如采用单层结构的128层是94.1%,176层COP V-NAND是92.1%,236层2nd COP V-NAND是94.8% 。YMTC的232层Xtacking 3.0的VCE是91.7%,美光232层是91%。铠侠162层的VCE稍低一些,为88%。SK海力士238层共有259个门,VCE为91.9%,仍然低于三星的236L。 ... PC版: 手机版:

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铠侠公布3D NAND闪存发展蓝图 计划2027年实现1000层堆叠 在3D NAND闪存技术的竞赛中,铠侠展现出了对层数挑战的坚定决心,其目标似乎比三星更为激进。三星虽也计划在2030年之前推出超过1000层的先进NAND闪存芯片,并计划引入新型铁电材料来实现这一目标,但铠侠却更早地设定了具体的实现时间表。去年,铠侠推出了BiCS8 3D NAND闪存,其层数高达218层,采用1Tb三层单元(TLC)和四层单元(QLC)技术,并通过创新的横向收缩技术,成功将位密度提高了50%以上。若要实现2027年1000层堆叠的宏伟目标,铠侠可能会进一步探索五层单元(PLC)技术的应用。值得注意的是,提高3D NAND芯片的密度并非仅仅意味着增加层数,更涉及到制造过程中可能遇到的一系列新问题和技术挑战。 ... PC版: 手机版:

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三星准备于5月推出290层3D NAND 计划于明年提升到430层 据报道,三星是通过改进闪存层堆叠技术实现 290 层垂直堆叠密度的,这种技术依赖于通过在闪存层中增加存储孔来增加层数。这样做的代价是每个晶圆的数据密度,但增加层数带来了净收益。报道第 9 代 V-NAND 的同一消息来源还称,该公司计划在 2025 年初推出其后续产品第 10 代 V-NAND。第 10 代 V-NAND 闪存预计将达到 430 层,比第 9 代 V-NAND 闪存增加 140 层(第 9 代 V-NAND 闪存比上一代增加 54 层)。这将使三星与其竞争对手 Kioxia、SK Hynix、美光科技和 YMTC 重新走上正轨,向 2030 年实现 1000 层 3D NAND 闪存的宏伟目标发起冲击。 ... PC版: 手机版:

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得益于Kioxia的1000层NAND计划 SSD的大规模密度提升指日可待 日本媒体 PC Watch 对 Kioxia 的预测进行了报道,该预测从过去的趋势出发,对现有的 NAND 单元技术进行了改进。该公司预计,三年后 NAND 芯片密度将达到 100 Gbit/mm²,存储单元层数将达到 1000 层。要实现这一目标,必须保持每年 1.33 倍的增长速度。3D NAND 的层数在迅速增加,从 2014 年的 24 层增加到 2022 年的 238 层,在不到十年的时间里增加了十倍。去年,SK Hynix 甚至展示了 321 层 1 Tb TLC 4D NAND 芯片样品。然而,要达到四位数的层数并非易事。据存储新闻网站Blocks & Files 报道,利用 3D NAND 实现更高密度并不仅仅是在芯片上增加层数。每一层都需要一个外露的边缘来实现存储单元之间的连接,从而形成一个类似楼梯的芯片外形。因此,随着层数的增加,阶梯结构所消耗的面积也会大幅增加,从而抵消了部分密度的提升。为了弥补这一不足,存储器制造商需要在垂直和横向上缩小 NAND 单元,同时过渡到 QLC NAND,与目前的 TLC 技术相比,每个单元封装 4 位。随着层数的增加,通道电阻和信号噪声也会成为成长的烦恼。虽然 Kioxia 对这些技术障碍提出了合理的解决方案,但在财务方面,这种积极推进的可行性仍然是一个迫在眉睫的问题。据报道,Kioxia 的生产合作伙伴西部数据(Western Digital)对 NAND 晶圆厂成本膨胀超过收入增长表示担忧。两家公司已经发布了拥有 218 层的 BiCS 8 技术,并讨论了多达 400 多层的 BiCS 9 和 10 技术。不过,1000 层节点似乎是一个雄心勃勃的长期目标,可能会考验西部数据对大量晶圆厂投资的胃口。Kioxia 将采取何种措施来实现其内存密度梦想,我们拭目以待。这家制造商目前正与三星公司展开激烈竞争,因此 1000 层的目标非常有利可图。与西部数据就未来 NAND 扩展节点的速度和时间进行的艰难谈判可能还在后面。 ... PC版: 手机版:

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DRAM,走向3D 早前的DRAM可以满足业界需求,但随着摩尔定律推进速度放缓,DRAM技术工艺也逐渐步入了瓶颈期。从技术角度上看,随着晶体管尺寸越来越小,芯片上集成的晶体管就越多,这意味着一片芯片能实现更高的内存容量。目前DRAM芯片工艺已经突破到了10nm级别。虽然10nm还不是DRAM的最后极限,但多年来随着DRAM制程节点不断缩小,工艺完整性、成本、电容器漏电和干扰、传感裕度等方面的挑战愈发明显,要在更小的空间内实现稳定的电荷存储和读写操作变得日益困难。据Tech Insights分析,通过增高电容器减小面积以提高位密度(即进一步减小单位存储单元面积)的方法即将变得不可行。上图显示,半导体行业预计能够在单位存储单元面积达到约10.4E-4µm2前(也就是大约2025年)维持2D DRAM架构。之后,空间不足将成为问题,这将提升对垂直架构,也就是3D DRAM的需求。另一方面,随着数据量爆炸性增长,尤其是云计算、人工智能、大数据分析等领域对高速、大容量、低延迟内存的需求持续攀升,市场对更高密度、更低功耗、更大带宽的DRAM产品有着强烈需求。在市场需求和技术创新的驱动下,3D DRAM成为了业界迫切想突破DRAM工艺更高极限的新路径。3D DRAM,迎来新进展传统的内存单元数组与内存逻辑电路分占两侧的2D DRAM存储相比,3D DRAM是一种将存储单元(Cell)堆叠至逻辑单元上方的新型存储方式,从而可以在单位晶圆面积上实现更高的容量。采用3D DRAM结构可以加宽晶体管之间的间隙,减少漏电流和干扰。3D DRAM技术打破了内存技术的传统范式。这是一种新颖的存储方法,将存储单元堆叠在逻辑单元之上,从而在单位芯片面积内实现更高的容量。3D DRAM的优势不仅在于容量大,其数据访问速度也快。传统的DRAM在读取和写入数据时需要经过复杂的操作流程,而3D DRAM可以直接通过垂直堆叠的存储单元读取和写入数据,极大地提高了访问速度。此外,3D DRAM还具有低功耗、高可靠性等特点,使其在各种应用场景中都具有显著优势。十多年来,业界一直致力于这个方向,特别是受到3D NAND商业和功能成功的推动。迄今为止,许多3D DRAM概念已经提出并申请了专利,一些主要DRAM厂商正在进行晶圆级测试。3D DRAM技术的专利族趋势,2009年- 2023年预测走势图能看到,自2019年以来,美国申请的专利数量急剧增加,这或许意味着3D DRAM正在迎来新的进展。行业主要厂商正在逐渐加大对3D DRAM技术的开发投入,并且通过专利保护的方式为未来的市场竞争和技术主导权做准备。这种策略反映出3D DRAM技术的战略重要性和潜在的巨大商业价值。厂商,竞逐3D DRAM三星电子雄心勃勃,加速3D DRAM商业化自2019年以来,三星电子一直在进行3D DRAM的研究,并于同年10月宣布了业界首个12层3D-TSV技术。2021年,三星在其DS部门内建立了下一代工艺开发研究团队,专注3D DRAM领域研究。2022年,三星准备通过逻辑堆叠芯片SAINT-D解决DRAM堆叠问题,该设计旨在将8个HBM3芯片集成在一个巨大的中介层芯片上。图源:三星官网2023年5月,三星电子在其半导体研究中心内组建了一个开发团队,大规模生产4F2结构DRAM。由于DRAM单元尺寸已达到极限,三星想将4F2应用于10nm级工艺或更先进制程的DRAM。据报道,如果三星的4F2 DRAM存储单元结构研究成功,在不改变制程的情况下,裸片面积可比现有6F2 DRAM存储单元减少约30%。同年10月,三星电子宣布计划在下一代10nm或更低的DRAM中引入新的3D结构,旨在克服3D垂直结构缩小芯片面积的限制并提高性能,将一颗芯片的容量增加100G以上。今年早些时候,三星电子还在美国硅谷开设了一个新的R&D研究实验室,专注于下一代3D DRAM芯片的开发。能看到,三星电子聚焦3D DRAM市场,一直在开发新技术。在近日举行的Memcon 2024上,三星电子再次公布了其关于3D DRAM开发的雄心勃勃计划,并明确表示将在2030年前实现这一技术的商业化。图源 Semiconductor Engineering三星电子副社长李时宇在会上详细介绍了4F2 Square VCT DRAM及3D DRAM的研发进展,显示出三星在紧凑型高密度内存领域的领先地位。4F2 Square VCT DRAM是一种基于VCT(垂直沟道晶体管)技术的紧凑型DRAM设计。上文提到,4F2 Square VCT DRAM通过垂直堆叠技术,将DRAM单元尺寸比现有的6F2 Square DRAM减少约30%,在提高能效的同时大幅降低了单元面积。然而,实现这一技术并非易事。三星指出,4F2 Square VCT DRAM的开发需要极高的制造精度和更优质的生产材料,还需要解决新材料的应用问题,如氧化沟道材料和铁电体的研发。相较于在DRAM单元结构上向z方向发展的VCT DRAM,三星电子还聚焦在VS-CAT(Vertical Stacked-Cell Array Transistor,垂直堆叠单元阵列晶体管)DRAM上,该技术类似3D NAND一样堆叠多层DRAM。除通过堆叠提升容量外,VS-CAT DRAM 还能降低电流干扰。三星电子预计其将采用存储单元和外围逻辑单元分离的双晶圆结构,因为延续传统的单晶圆设计会带来严重的面积开销。在分别完成存储单元晶圆和逻辑单元晶圆的生产后,需要进行晶圆对晶圆(W2W)混合键合,才能得到 VS-CAT DRAM成品。据悉,目前三星电子已在内部实现了16层堆叠的VS-CAT DRAM。三星电子还在会议上探讨了将BSPDN背面供电技术用于3D DRAM内存的可能性,认为该技术有助于于未来对单个内存bank的精细供电调节。尽管东京电子预测VCT DRAM的商用化要到2027年才能实现,但三星内部对3D DRAM的商业化充满信心,计划在2025年内部发布4F2 Square工艺,并逐步推进3D DRAM的研发,预计在2030年之前推出市场。SK海力士:聚焦3D DRAM新一代沟道材料SK海力士也在积极研发3D DRAM。SK海力士表示,3D DRAM可以解决带宽和延迟方面的挑战,并已在2021年开始研究。据韩媒Business Korea去年的报道,SK海力士提出了将IGZO作为3D DRAM的新一代沟道材料。IGZO是由铟、镓、氧化锌组成的金属氧化物材料,大致分为非晶质IGZO和晶化IGZO。其中,晶化IGZO是一种物理、化学稳定的材料,在半导体工艺过程中可保持均匀的结构,SK海力士研究的正是这种材料,其最大优势是其低待机功耗,这种特点适合要求长续航时间的DRAM芯晶体管,改善DRAM的刷新特性。据透露,SK海力士将会在今年披露3D DRAM电气特性的相关细节,到时候公司将会明确3D DRAM的发展方向。美光:专利数量遥遥领先3D DRAM领域的技术竞争正在加剧。据TechInsights称,美光在2019年就开始了3D DRAM的研究工作。截止2022年8月,美光已获得了30多项3D DRAM专利。相比之下,美光专利数量是三星和SK海力士这两家韩国芯片制造商的两三倍。在2022年9月接受采访的时候,美光公司确认正在探索3D DARM的方案。美光表示,3D DRAM正在被讨论作为继续扩展DRAM的下一步。为了实现3D DRAM,整个行业都在积极研究,从制造设备的开发、先进的ALD、选择性气相沉积、选择性蚀刻,再到架构的讨论。美光的3D DRAM方案,网上并没有看到太多介绍。不过据Yole强调,美光提交了与三星电子不同的3D DRAM专利申请。美光的方法是在不放置Cell的情况下改变晶体管和电容器的形状。除此以外,Applied Materials和Lam Research等全球半导体设备制造商也开始开发与3D DRAM相关的解决方案。NEO:推出3D X-DRAM技术除了存储三巨头之外,还有行业相关公司也在进行3D DRAM的开发。例如,美国存储器技术公司NEO Semiconductor推出了一种名为3D X-DRAM的技术,旨在克服DRAM的容量限制。3D X-DRAM的单元阵列结构类似于3D NAND Flash,采用了FBC(无电容器浮体单元)技术,它可以通过添加层掩模形成垂直结构,从而实现高良率、低成本和显著的密度提升。图源:NE... PC版: 手机版:

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SK海力士量产全球最尖端321层NAND闪存 韩国半导体巨头SK海力士11月21日发布消息称,已开始量产用于存储数据的 NAND 闪存的321层产品。预计将用于面向人工智能的数据中心和“边缘AI”等领域。自2025年上半年开始交货。此前最尖端的 NAND 闪存为238层。与238层相比,321层的数据传输速度提高了12%,读取数据时的电力效率也提高10%以上。单位芯片面积的数据容量也增加59%。NAND 闪存被用于智能手机和数据中心。SK使用了4D技术,集成度比属于业界标准的3D (3维) 更高,实现了321层。SK表示:“没有发现其他公司超过300层的产品”。 日经新闻-电报频道- #娟姐新闻:@juanjienews

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铠侠计划在2031年批量生产超过1000层堆叠的3D NAND闪存 至于使用什么样的新技术、新工艺才能达到1000多层,铠侠没有明说。目前堆叠层数最多的闪存技术来自SK海力士,达到了321层,不过要到2025年上半年才能量产。有趣的是,三星方面此前声称,计划在2030年实现1000层闪存(SSD容量也规划到了1000TB),不知道和铠侠谁能最先做到。三星的V-NAND已经推进到第九代,将在明年初量产,基于双堆栈架构,可达成业界最高堆叠层数,预计超过300层,再往后的第十代则会达到430层左右。 ... PC版: 手机版:

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