ASML计划2030年推出Hyper-NAEUV设备，单台价格高达7.2亿美元台积电可能会使用现有EUV设备实现1.6纳米技术三

成本难题可解？ASML表示Hyper-NAEUV光刻机有望2030年商用https://www.icsmart.cn/73977

ASML正在开发hyper-NA EUV光刻机

ASML正在开发hyper-NAEUV光刻机他表示，在未来十年内，ASML将构建一个集成低数值孔径、高数值孔径和超数孔径EUV系统的单一平台。这一举措被视为减少工艺步骤数量、降低晶圆加工成本和能源消耗的关键。VandenBrink进一步强调了Hyper-NAEUV工具的重要性，指出它能够简化复杂的双重图案工艺，降低生产难度。他解释说，这种高分辨率工具的可用性对于半导体制造行业至关重要。值得注意的是，高数值孔径EUV（high-NA）光刻技术目前正处于起步阶段。ASML自去年12月开始出货高数值孔径工具，目前仅英特尔一家采用，而台积电则表示短期内不会采用。为了推动该技术的研发和应用，ASML将在几周内正式在费尔德霍芬开设高数值孔径实验室，该实验室将与Imec共同运营，为芯片制造商提供该工具的早期使用权。事实上，该实验室的系统已经投入使用，并成功打印了有史以来第一个10纳米线阵图案。据VandenBrink的最新更新，该系统已经能够产生8nm线阵图案，接近该工具的最大分辨率。这一成果进一步证明了ASML在EUV光刻技术领域的领先地位和持续创新的能力。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1431859.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1431859.htm

中央社ASML将交付台积电最新EUV市值超越LVMH成欧洲第2大企业

台积电称无需 ASML 的 High-NA EUV 即可实现下一代 A16 工艺节点

台积电称无需ASML的High-NAEUV即可实现下一代A16工艺节点台积电高管周二表示，不一定需要使用ASML下一代HighNAEUV机器，用于即将推出的芯片制造技术A16，该技术正在开发中，预计于2027年推出。HighNA光刻工具有望帮助将芯片设计缩小三分之二，但芯片制造商必须权衡这一优势与更高的成本，以及ASML的旧技术是否可能更可靠、更好。每台HighNAEUV工具的成本预计超过3.5亿欧元，而ASML常规EUV机器的成本则为2亿欧元。台积电是全球最大的合同芯片制造商，也是ASML常规EUV机器的最大用户。而另一方面，英特尔则已经打包预定了ASML今年所有的HighNA设备出货量。——

ASML将于今年向台积电交付价值3.8亿美元的芯片制造设备

ASML将于今年向台积电交付价值3.8亿美元的芯片制造设备英特尔此前已经订购了最新的高NAEUV设备，第一台设备已于12月底运往俄勒冈州的一家工厂。目前尚不清楚ASML最大的EUV客户台积电何时会收到设备。这家台湾芯片制造商的代表表示，该公司与其供应商密切合作，并拒绝进一步置评。报告发布后，ASML周三股价上涨5.2%，截至阿姆斯特丹下午2:15时，股价为918.10欧元。今年以来，该公司股价已上涨约35%。ASML的新机器可以用仅8纳米的线宽压印半导体，比上一代机器小1.7倍，将用于生产为人工智能应用和先进消费电子产品提供动力的芯片。这些机器每台造价3.5亿欧元（3.8亿美元），重量相当于两架空中客车A320。ASML是世界上唯一一家生产极紫外光刻技术的公司，对其产品的需求是该行业发展轨迹的试金石。台积电对该设备的标价表示担忧，高级副总裁张晓强（KevinZhang）5月在阿姆斯特丹表示："我喜欢高NAEUV的能力，但我不喜欢它的标价。"他说，台积电所谓的A16节点技术将于2026年底问世，该技术不需要使用ASML的高数值孔径超高真空（high-NAEUV）设备，可以继续使用台积电较旧的极紫外设备。不过，台积电一直没有积极参与ASML的高DNAEUV项目。包括JanardanMenon在内的Jefferies分析师表示，他们预计台积电将于2028年在A14节点使用高纳晶。这些分析师在与Dassen通完电话后表示，ASML仍然认为2025年的营收可能会在指导范围的上半部分。杰富瑞分析师表示，ASML今年剩余三个季度的平均订单可能在57亿欧元左右，从而将2025年的销售额推高至400亿欧元。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1433703.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1433703.htm

纳米压印设备可绕过EUV量产5nm！佳能CEO：不能卖到中国，也无法超越EUV