台积电已经在探索比1.4nm更先进的工艺
台积电已经在探索比1.4nm更先进的工艺1.4nm再往下就是1nm工艺了,这也是半导体行业都在追求的工艺,去年IMEC欧洲微电子中心公布的路线图显示,2nm工艺之后是14A,也就是1.4nm工艺,预计2026年问世,再往后就是A10工艺,也就是1nm,2028年问世。当然,实际能量产的时间可能回比2028年晚一些,毕竟新技术不跳票是不可能的。与此同时,在2nm节点之后的新工艺研发生产中,EUV光刻机也要大升级一次,ASML预计会在2026年推出HighNA技术的下一代EUV光刻机EXE:5000系列,将NA指标从当前的0.33提升到0.55,进一步提升光刻分辨率。但是下一代EUV光刻机的代价也很高,售价会从目前1.5亿美元提升到4亿美元以上,最终价格可能还要涨,30亿一台设备很考验厂商的成本控制。...PC版:https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1373779.htm手机版:https://m.cnbeta.com.tw/view/1373779.htm
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