半导体设备板块震荡走高，芯源微大涨超10%，广立微、华海清科、拓荆科技、长川科技等涨幅靠前。

A股半导体设备板块震荡走高，芯源微大涨超10%，广立微、华海清科、拓荆科技、长川科技等涨幅靠前。

半导体设备板块震荡走高，芯源微大涨超10%，广立微、华海清科、海目星、拓荆科技、长川科技等涨幅靠前。

半导体设备板块震荡走低拓荆科技大跌7%半导体设备板块盘中震荡走低，拓荆科技、华海清科大跌7%，芯源微、中微公司、北方华创、华峰测

半导体芯片股开盘拉升，捷捷微电、富瀚微大涨超13%，新洁能、北方华创、芯源微、拓荆科技等涨超5%。

半导体设备板块震荡走强联动科技涨超10%半导体设备板块震荡走强，联动科技涨超10%，芯碁微装、耐科装备、北方华创、金海通、拓荆科