微导纳米：拟发行可转债募资不超 11.7 亿元 用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目等

微导纳米：拟发行可转债募资不超11.7亿元用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目等微导纳米公告，公司拟向不特定对象发行可转换公司债券的募集资金总额不超过11.7亿元。扣除发行费用后，将全部投资于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目以及补充流动资金。半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目主要生产半导体领域iTomic系列和iTronix系列产品，其涉及原子层沉积和化学气相沉积两大类设备。