北方华创发布国产 12 英寸双大马士革 CCP 刻蚀机

北方华创发布国产12英寸双大马士革CCP刻蚀机近日，北方华创正式发布新品——12英寸电容耦合等离子体介质刻蚀机AccuraLX，该机台主要覆盖逻辑领域多个技术节点中以AIO(双大马士革刻蚀工艺)、Contact(接触孔)为代表的关键介质刻蚀制程，并可扩展到存储领域的CMOS(互补金属氧化物半导体)相关制程，适用于Low-K（低介电常数）介质及常规介质材料的刻蚀工艺。

长江存储开始使用北方华创的本土设备进行先进3D NAND制造

长江存储开始使用北方华创的本土设备进行先进3DNAND制造去年，长江存储宣布在创建200+层3DNAND闪存方面取得了重大进展，比美光和SK海力士等其他3DNAND制造商更早。该芯片被称为X3-9070，是一种基于该公司先进的Xtacking3.0架构的232层3DNAND。正如《南华早报》所发现的，长江存储已经向北京的北方华创科技集团下了大订单，该公司是蚀刻工具的制造商，也是LamResearch的竞争对手，设备主要负责制造其先进的闪存。此外，据报道，长江存储已要求其所有工具供应商去除设备上的所有标志和其他标记，以避免美国的额外制裁阻碍其发展。这个重要的订单是在政府向长江存储投资70亿美元以提高其生产能力之后出现的，该公司随后立即利用了这些资源。然而，少数行业分析师已经发现了长江存储在独立制造道路上的一些"阻塞点"，因为在计量工具（KLA是主导者）和光刻工具（ASML、尼康和佳能是值得注意的）等领域仍然没有可行的国内替代美国工具制造商。总部设在武汉的武当山项目对未来如何处理这些难点的策略仍然是保密的。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1356335.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1356335.htm