消息称 SK 海力士将在 1c DRAM 生产中采用新型 Inpria MOR 光刻胶
消息称SK海力士将在1cDRAM生产中采用新型InpriaMOR光刻胶SK海力士计划在第6代(1c工艺约10nm)DRAM的生产中使用Inpria下一代金属氧化物光刻胶(MOR),这是MOR首次应用于DRAM量产工艺。消息人士称,SK海力士量产的1cDRAM上有五个极紫外(EUV)层,其中一层将使用MOR绘制。他还补充说,不仅SK海力士,三星电子也将追求这类无机PR材料。(TheElec)
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