国海证券:电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障,未来有望加速发展
国海证券:电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障,未来有望加速发展国海证券表示,随着集成电路工艺节点减小,缺陷尺寸减小、缺陷密度增加、漏检风险逐渐提升,受益加速电压下的波长优势,电子束检测技术精度较高,且对于电性缺陷具有独特的识别能力。先进制程及其配套产业链或将成为大基金三期的重点发力方向,半导体前道量检测设备目前国产化率仅个位数,电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障,未来有望加速发展。
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