SK 海力士针对 DRAM 生产线评估 KCTech 的超临界流体清洁剂

SK 海力士针对 DRAM 生产线评估 KCTech 的超临界流体清洁剂 SK 海力士正在评估 KCTech 的超临界流体清洁剂是否可用于其 DRAM 生产线。超临界是指温度和压力高于其临界点的状态。超临界状态的流体具有介于液体和气体之间的性质，可以轻松溶解晶圆上不需要的残留物和污染物。SK 海力士表示，KCTech 预计将在年内通过评估，但由于在清洁器中使用超临界流体是一项复杂的技术，因此可能需要更长的时间。 (THEELEC)