清华大学集成电路学院团队首次实现亚 1nm 栅极长度晶体管:等效 0.34nm

清华大学集成电路学院团队首次实现亚 1nm 栅极长度晶体管:等效 0.34nm 上述相关成果以 “具有亚 1 纳米栅极长度的垂直硫化钼晶体管”()为题,于 3 月 10 日在线发表在国际顶级学术期刊《自然》(Nature)上。 论文通讯作者为清华大学集成电路学院任天令教授和田禾副教授,清华大学集成电路学院 2018 级博士生吴凡、田禾副教授、2019 级博士生沈阳为共同第一作者,其他参加研究的作者包括清华大学集成电路学院 2020 级硕士生侯展、2018 级硕士生任杰、2022 级博士生苟广洋、杨轶副教授和华东师范大学通信与电子工程学院孙亚宾副教授。 任天令教授团队长期致力于二维材料器件技术研究,从材料、器件结构、工艺、系统集成等多层次实现创新突破,先后在《自然》(Nature)、《自然・电子》(Nature Electronics)、《自然・通讯》(Nature Communications)等知名期刊以及国际电子器件会议(IEDM)等领域内顶级国际学术会议上发表多篇论文。清华大学的研究人员得到了国家自然科学基金委、科技部重点研发计划、北京市自然基金委、北京信息科学与技术国家研究中心等的支持。

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