大日本印刷将为 Rapidus 量产尖端半导体零部件

大日本印刷将为 Rapidus 量产尖端半导体零部件 大日本印刷 开发和量产的是面向2纳米产品的光掩模。光掩模在在半导体基板硅晶圆上形成电路的曝光工序中使用。曝光是半导体制造的重要工序之一,通过绘有电路形状的光掩模向晶圆照射特殊光,烧刻电路。

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