东京大学联合日企开发出新一代半导体封装基板加工技术东京的教授小林洋平等人携手味之素Fine-Techno等,开发出了在半导体封装基板上形成直径6微米以下微细孔洞的激光加工技术。利用此前的技术,约40微米是极限。https://cn.nikkei.com/industry/scienceatechnology/50504-2022-11-16-05-00-35.html
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