“钻石”芯片,真的要来了

“钻石”芯片,真的要来了按照该公司的规划,在2023年以后,他们计划在每个芯片后安装一颗单晶钻石用于散热,到2033年以后,推动钻石材料在半导体行业的应用,如用于制造晶体管或其他半导体元件的基底材料。钻石,成为半导体终极材料自1959年硅晶片诞生以来,半导体工业不断地突破和创新。从硅发展到现在大火大热的碳化硅(SiC)/氮化镓(GaN)等宽禁带半导体材料,再到对氧化镓的探索,产业界始终在探索具有更优导热和电绝缘性能的新材料,以应对不断升级的技术要求。而钻石晶圆,就目前已经探到的材料而言,可以说是终极的半导体材料了。众多周知,整个半导体产业遵循着摩尔定律已经来到了3纳米,苹果的3纳米芯片已经伴随iPhone15Pro和Promax悄然到了消费者手中。随着我们正在向2纳米、1纳米甚至是埃米(Angstrom,1埃=十亿分之一米)级别迈进。依靠现在的硅基材料显然是有很大难度的,物理极限的问题不断显现,热挑战也在困扰着行业。与当今现有的材料相比,钻石展现了其多项超群的特性。首先,按照DF公司的说法,他们可以实现将钻石直接以原子方式与集成电路晶圆粘合,晶圆厚度可以达到埃级精度,这不仅凸显了其粘合精度之高,而且为半导体产业未来向纳米甚至埃米级别进展提供了坚实的技术基础。其次,单晶钻石是已知热导率最高的材料。典型的硅的热导率为150W/(m·K),铜(Copper)是380W/(m·K),而钻石的热导率远高于硅和铜,高达2400W/(m·K),,这就意味着它能更有效地传导热量,使集成电路能够更快地运行且寿命更长。钻石还有一个很大的优势是极高的绝缘性。衡量不同材料绝缘性好坏的一大重要指标是击穿电场强度,表示材料能承受的最大电压不造成电击穿。作为对比,硅材料的击穿电场强度为0.3MV/cm左右,SiC为3MV/cm,GaN为5MV/cm,而钻石则为10MV/cm。而且即使是非常薄的钻石切片也具有非常高的电绝缘性,能够抵抗非常高的电压。这对于功率电子学领域中的器件微型化是非常重要的。因此,凭借极高的导热性和电绝缘性以及可与集成电路晶圆直接粘合的特点,使得钻石成为理想的半导体基底材料。世界上首个110克拉、晶圆大小的钻石是如何制造出来的?创造出世界首个DF公司的创始团队由麻省理工学院、斯坦福大学和普林斯顿大学的工程师组成,大约2012年之前,他们还是一家太阳能发电科技公司,但是该公司由于某些原因在商业上失败了,然而他们却发现类似太阳能的技术却可以生产更高价值的钻石。因此,自2012年开始,该团队开始设计生长钻石的等离子体反应器,2014年启动了第一个等离子体反应器。2015年他们生产出了第一颗单晶钻石。2016年他们的钻石开始大量生产,被消费者抢售一空。事实证明,钻石确实是一门好生意,很快该公司就实现了盈利。他们开始制造越来越大的钻石,并开始追求半导体晶圆大小的钻石。2023年10月,他们成功制造出了世界上第一块单晶钻石晶圆,直径100毫米、重110克拉。这不是易事,长期以来,生产晶圆大小的单晶钻石一直是难以实现的技术圣杯。单晶钻石的制造过程一直受到两大技术挑战的制约:一方面,使用传统的高压高温(HPHT)技术培育大尺寸单晶钻石所需承受的压力远超任何已知材料的极限;另一方面,按照单晶材料生长的基本原则:在生长单晶材料时,通常需要一个已有的同种材料的单晶体作为“种子”,这个种子会指导新添加的原子在何处正确地定位自己,以保持原有的晶体结构不变。简单来说,就像是在已有的秩序排列的队列中加入新成员,如果没有一个明确的示范,新来的成员就不会知道如何加入队列以保持队列的整齐。在单晶生长的情况下,这种“队列”的秩序是原子排列的规则性和周期性,也就是晶格结构。如果没有一个模板来指导这种秩序的创建,那么新增加的原子就无法形成所需的单晶结构,可能会导致多晶或非晶结构的形成,这些结构的性质与单晶大不相同。因此,要想采用薄膜原子分层技术制造钻石则需要一个与晶圆同样大小的基体来指导原子沉积,但世界上并不存在晶圆大小的钻石,必须要弄清楚如何制造第一个用于生产更多晶圆的“母”晶圆。DF公司首先采用了一种称为钻石晶圆异质外延的极其复杂的技术,据其官网的描述:“我们制造的设备能够精确控制十个原子层如何撞击硅晶片上铱和钇稳定氧化锆的纳米级特殊夹层,我们设法让前十个原子误以为底部有单晶钻石,而实际上并没有,从而为后续单晶钻石的制造奠定了基础。”然后在其等离子体设备中利用晶锭生长反应堆技术,严格控制钻石单晶的生长过程。据悉,他们为生产的每克拉钻石收集超过10亿个数据点,在生长过程中动态调整这些参数。实现单晶钻石晶片的挑战并不止于制造出晶圆大小的母晶。接下来的挑战是如何切割地球上最坚硬的材料。他们为此又开发了晶圆切割机,用来将单晶钻石锭切割成薄片。接下来就是要对切割下来的薄片进行表面抛光。为了能够嵌入原子尺寸的晶体管,钻石晶圆片也必须要满足现在半导体晶圆的表明要求。为了能将他们制造的钻石晶圆应用到半导体行业当中去,DF公司又开发了芯片键合技术。能与当今众多的大功率硅芯片、SiC功率芯片以及GaN通信芯片直接进行原子化连接。为更多的应用带来无限的潜力。可以说,DF这家公司以其革命性的技术,已经打通了钻石材料在半导体行业应用的全流程。接下来就看其在各应用当中的潜力了。钻石,要革芯片散热的“命”在当下人工智能、云计算和电动汽车和无线通信等领域,复杂的芯片设计使得热管理成为一大挑战,尤其是在高性能计算任务中,这种热量的产生尤为显著。如果热量不能有效散发,会在芯片上形成“热点”,长期存在热点会影响芯片的稳定性和寿命。但是钻石的高热导率可以帮助快速均匀地分散这些热点,并帮助芯片上产生的热量散发出去。由于热效率的提高,芯片则可以在更高的频率下稳定运行而不会过热。这将使得芯片的处理速度可以提高,实现更快的计算速度。所以,钻石材料最大的优势是通过使用最终的热量散发解决方案来加速硅芯片的性能。据DF描述,钻石晶圆在芯片内的高工作负荷晶体管的原子级距离内提供一个热量超高速通道,按照理想散热的情况分析,能使人工智能和云计算领域的硅芯片速度提升3倍。按照他们所剖出的原理图,他们将原本被动硅的部分替换成为钻石,使用钻石基板作为热导层,在晶体管工作产生热量时,热量可以更快速、更有效率地从活跃硅层传递到铜层并散发出去。芯片散热的原理:热量从活跃硅层产生,需要通过被动硅层传导到铜层,然后散发出去在电动汽车领域,逆变器是核心之一。目前电动汽车的代表特斯拉的Tesla3逆变器可以说是业界最小型的逆变器,但是基于钻石晶圆的导热性和电绝缘性的极端特性使得新颖的架构能够从根本上推进小型化、效率和鲁棒性。据DF公司称,他们所打造的新型逆变器比Tesla3的逆变器尺寸缩小六倍(如下图所示),而且还超越了其性能和效率。第一批DFPerseus原型已经在一级汽车OEM实验室中完成并成功进行了测试。DF研发的新型Perseus逆变器VS特斯拉的电源逆变器我们都知道,GaN在高效无线通信领域的应用越来越重要,如果将钻石与GaN结合使用,使用钻石晶圆的GaNMOSFET能够达到非钻石GaN设备的三倍功率密度。这是因为钻石基底能显著提高散热效率,降低因高功率运作而产生的...PC版:https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1395917.htm手机版:https://m.cnbeta.com.tw/view/1395917.htm

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麻省理工学院的工程师们培育出"完美"的仅有原子厚度的材料再来谈谈二维材料-精致的、二维的完美晶体片,其厚度只有一个原子。在纳米尺度上,二维材料可以比硅更有效地传导电子。因此,寻找下一代晶体管材料的工作集中在二维材料上,作为硅的潜在继承者。但是在电子工业能够过渡到二维材料之前,科学家们必须首先找到一种方法,在工业标准的硅片上安放这些材料,同时保留其完美的结晶形式。而麻省理工学院的工程师现在可能有一个解决方案。该团队已经开发出一种方法,可以使芯片制造商通过在现有的硅和其他材料的晶圆上生长,用二维材料制造出更小的晶体管。这种新方法是一种"非外延式单晶生长"的形式,该团队首次使用这种方法在工业硅晶圆上生长出纯净的、无缺陷的完美二维材料。通过他们的方法,研究小组用一种叫做过渡金属二氯化物(TMDs)的二维材料制造了一个简单的功能晶体管,众所周知,这种材料在纳米尺度上的导电性能比硅更好。麻省理工学院机械工程系副教授JeehwanKim说:"我们预计我们的技术可以使基于二维半导体的高性能下一代电子设备得到发展。我们已经解开了一个使用二维材料追赶摩尔定律的方法。"Kim和他的同事在最近发表于《自然》杂志的一篇论文中详细介绍了他们的方法。这项研究的麻省理工学院合作者包括KiSeokKim、DoyoonLee、CelestaChang、SeunghwanSeo、HyunseokKim、JihoShin、SanghoLee、JunMinSuh和Bo-InPark,以及德克萨斯大学达拉斯分校、加州大学河滨分校、圣路易斯华盛顿大学和韩国各地机构的合作者。通过在涂有"掩膜"的晶圆上沉积原子(左上),麻省理工学院的工程师可以将原子聚集在掩膜的各个口袋里(中间),并鼓励原子生长成完美的二维单晶层(右下)。资料来源:JeehwanKim,KiSeokKim,et.晶体拼接为了生产二维材料,研究人员通常采用手工工艺,将原子厚度的薄片从块状材料中小心翼翼地剥离出来,就像剥去洋葱的一层。但是大多数块状材料是多晶体的,包含多个以随机方向生长的晶体。在一个晶体与另一个晶体相遇的地方,"晶界"就像一个电障。任何流经一个晶体的电子在遇到一个不同方向的晶体时突然停止,从而抑制了材料的导电性。即使在剥离二维薄片后,研究人员也必须在薄片上寻找"单晶"区域--这是一个繁琐而耗时的过程,很难在工业规模上应用。最近,研究人员发现了其他制造二维材料的方法,即在蓝宝石晶片上生长二维材料--一种具有六角形原子图案的材料,它推动二维材料以相同的单晶方向组装。"但在内存或逻辑行业中没有人使用蓝宝石,"Kim说。"所有的基础设施都是基于硅的。对于半导体加工,你需要使用硅晶圆。"然而,硅晶圆缺乏蓝宝石的六边形支撑支架。当研究人员试图在硅上生长二维材料时,其结果是晶体的随机拼凑,胡乱地合并,形成许多阻碍导电性的晶界。"人们认为在硅上生长单晶二维材料几乎是不可能的,"Kim说。"现在我们表明它可以,我们的诀窍是从源头防止形成晶界。"“种子袋”该团队新的"非外延式单晶生长"不需要剥离和搜索二维材料的薄片。相反,研究人员使用传统的气相沉积方法,将原子抽过硅片。原子最终在晶圆上"定居"并形成晶核,直接生长为二维晶体方向。如果不加处理,每个"核"或晶体的种子将在硅片上以随机的方向生长。但是Kim和他的同事们找到了一种方法,使每个生长中的晶体对齐,在整个硅片上形成单晶区域。为了做到这一点,他们首先在硅片上覆盖了一层"掩膜"-一层二氧化硅涂层,他们将其图案化为微小的口袋,每一个口袋都被设计用来捕获一个晶体种子。然后,他们在被遮蔽的硅片上流淌着原子的气体,这些原子沉淀在每个口袋里,形成一种二维材料--在这种情况下是一种过渡金属二氯化物。掩膜的口袋聚集了原子,并鼓励它们以相同的单晶方向在硅片上组装。"这是一个非常令人震惊的结果,"Kim说,"到处都有单晶生长,即使2D材料和硅片之间没有外延关系。"利用他们的遮蔽方法,该团队制造了一个简单的TMD晶体管,并显示其电气性能与相同材料的纯片一样好。他们还应用该方法设计了一个多层器件。在用图案化的掩模覆盖硅片后,他们生长出一种二维材料来填充每个方块的一半,然后在第一层上生长出第二种二维材料来填充其余方块。结果是在每个方块内形成了超薄的单晶双层结构,往后,多种二维材料可以通过这种方式生长并堆叠在一起,以制造超薄、灵活和多功能的薄膜。"直到现在,还没有办法在硅片上以单晶形式制造二维材料,因此整个社区几乎放弃了为下一代处理器追求二维材料,"Kim说。"现在我们已经完全解决了这个问题,有了制造小于几纳米的器件的方法。这将改变摩尔定律的范式"。...PC版:https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1343087.htm手机版:https://m.cnbeta.com.tw/view/1343087.htm

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台环球晶圆新厂落脚美国得州

台环球晶圆新厂落脚美国得州台湾硅晶圆大厂环球晶圆(GlobalWafers)周一(6月27日)宣布,于美国得克萨斯州谢尔曼市兴建全新12寸硅晶圆厂,总投资额达50亿美元(约69亿新元)。综合法新社和台湾《自由时报》报道,环球晶圆新厂设立地点也是环球晶圆美国子公司GlobiTech的所在地。环球晶圆新厂预计2025年开出,将分阶段建设,可为美国得州制造1500个就业机会。环球晶圆说,12寸硅晶圆是所有先进半导体制造厂不可或缺的关键材料,随格罗方德(GlobalFoundries)、英特尔(Intel)、三星(Samsung)、得州仪器(TexasInstruments)与台积电(TSMC)等国际级大厂纷纷宣布在美国的扩产计划,美国对于优质的上游材料硅晶圆的需求也将大幅成长。环球晶圆指出,由于先进的12寸硅晶圆的生产基地目前几乎全部位于亚洲,使得美国半导体产业高度仰赖进口硅晶圆。这项扩厂计划将打造美国本土暌违20多年的首座12寸新硅晶圆厂,有望弥补半导体供应链的关键缺口。环球晶圆说,此座全新厂房将依客户长约需求数量分阶段建设,设备也陆续进驻,待所有工程竣工后,完整厂房面积将达320万平方尺,最高产能可达每月120万片12寸硅晶圆。与相同性质的其他工厂相比,这座12寸硅晶圆厂不仅是全美最大、更是世界数一数二的大型厂房之一。此外,因土地辽阔,新厂兴建完成后,仍有充分空间支持进一步增长。环球晶圆董事长暨执行长徐秀兰说:“随全球晶片短缺和地缘政治隐忧持续,环球晶圆值此时机建设先进节点、当代最创新的12寸硅晶圆工厂来增加半导体供应链的韧性。透过当地生产、就近供应,从而在当前全球ESG浪潮中显着减少碳足迹,环球晶圆与客户双方皆将因此受益。”美国商务部长雷蒙多说,环球晶圆的声明对于重建美国国内半导体供应链、加强美国的经济和国家安全、创造美国制造业就业机会至关重要。拜登政府努力不懈地使美国成为对于制造半导体及其组件的业者而言,具有吸引力的地方,并对环球晶圆选择得州作为他们的新厂落脚处感到十分兴奋。...发布:2022年6月28日8:46AM

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