东京大学联合日企开发出新一代半导体封装基板加工技术

东京大学联合日企开发出新一代半导体封装基板加工技术 东京大学 的教授小林洋平等人携手 味之素 Fine-Techno等,开发出了在半导体封装基板上形成直径6微米以下微细孔洞的激光加工技术。利用此前的技术,约40微米是极限。

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