西电郝跃院士在超陡垂直晶体管器件研究方面取得进展

西电郝跃院士在超陡垂直晶体管器件研究方面取得进展 该工作报道一种新型晶体管器件技术,将电阻阈值开关与垂直晶体管进行集成,实现了兼具超陡亚阈值摆幅与高集成密度潜力的垂直沟道晶体管,电流开关比超过8个数量级且室温亚60mV/dec电流范围超过6个数量级,为后摩尔时代高性能晶体管技术提供了一种新的器件方案。随着集成电路制造工艺下探亚5纳米技术节点,传统的晶体管尺寸微缩路线无法像过去一样使能“器件-芯片”性能提升与成本控制。在此背景下,学术界与工业界近年来提出多种创新器件技术,以期克服常规MOSFET的技术局限。其中,三星、IBM、欧洲微电子中心(IMEC)等国际研发机构推出了垂直输运场效应晶体管(vertical-transport field-effect transistor, VTFET)器件技术。通过将电流方向从传统MOSFET的平面方向转换为垂直方向,该器件结构有望在芯片上垂直构造晶体管,从而大幅降低器件占有空间,提高集成密度。受此启发,西电研究团队采用超薄二维异质结构造VTFET半导体沟道并与电阻阈值开关(TS)垂直集成,实现超陡垂直晶体管(TS-VTFET)。这一器件技术借助超薄二维半导体出色的静电调控,大幅提升器件栅控能力;同时,借助电阻阈值开关的电压控制“绝缘-导电”相变特性,该器件的室温亚阈值摆幅达到1.52mV/dec,远低于常规MOSFET室温亚阈值摆幅高于60mV/dec的理论极限。此外,在发表的概念验证工作中,研究团队制备的超陡垂直晶体管表现出强大性能,包括电流开关比高于8个数量级、亚60mV/dec电流区间超过6个数量级、漏电流小于10fA等,为后摩尔时代高性能低功耗晶体管技术提供了一种新的方案。 ... PC版: 手机版:

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中国在二维高性能浮栅晶体管存储器方面取得重要进展 中国华中科技大学的材料成形与模具技术全国重点实验室教授翟天佑团队,在二维高性能浮栅晶体管存储器方面取得重要进展,研制了一种具有边缘接触特征的新型二维浮栅晶体管器件,与现有商业闪存器件性能对比,其擦写速度、循环寿命等关键性能均有提升。 新华社星期一(9月18日)报道上述消息。 浮栅晶体管作为一种电荷存储器,是构成当前大容量固态存储器发展的核心元器件。然而,当前商业闪存内硅基浮栅存储器件所需的擦写时间约在10微秒至1毫秒范围内,远低于计算单元CPU纳秒级的数据处理速度,且其循环耐久性约为10万次,也难以满足频繁的数据交互。 二维材料具有原子级厚度和无悬挂键表面,在器件集成时可有效避免窄沟道效应和界面态钉扎等问题,是实现高密度集成、高性能闪存器件的理想材料。不过,在此前的研究中,其数据擦写速度多异常缓慢,鲜有器件可同时实现高速和高循环耐久性。 根据新华社,面对这一挑战,翟天佑团队研制了一种具有边缘接触特征的新型二维浮栅晶体管器件,通过对传统金属-半导体接触区域内二硫化钼进行相转变,使其由半导体相(2H)向金属相(1T)转变,使器件内金属-半导体接触类型由传统的3D/2D面接触过渡为具有原子级锐利界面的2D/2D型边缘接触,实现了擦写速度在10纳秒至100纳秒、循环耐久性超过300万次的高性能存储器件。 报道引述翟天佑说:“通过对比传统面接触电极与新型边缘接触,该研究说明了优化制备二维浮栅存储器件内金属-半导体接触界面对改善其擦写速度、循环寿命等关键性能有重要作用。”

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