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帝尔激光:研发玻璃通孔激光设备系“玻璃基板上造芯片”关键设备武汉市科技创新局官微消息,目前,我国科学家团队在玻璃基封装技术研发领域实现重要突破,有望助力我国芯片制造“弯道超车”。而实现这一“玻璃基板上造芯片”技术突破的关键设备——玻璃通孔激光设备,正是帝尔激光自主研发。帝尔激光总经理助理叶先阔表示,此次研发的玻璃通孔激光设备,核心参数“径深比”可达1:100,具备世界领先水平,在下一代封装浪潮中大有可为。
5月24日从帝尔激光获悉,作为全球领先的激光精密微纳加工装备制造商,帝尔激光玻璃通孔激光设备已经在小规模生产中得到应用。帝尔激光表示,在先进封装浪潮中,随着对更强大计算需求的增加,半导体电路变得越来越复杂,信号传输速度、功率传输、设计规则和封装基板稳定性的改进至关重要。当前行业主要采用的塑料基板(有机材料基板)或将达到容纳极限,特别是其表面相对粗糙,对超精细电路的固有性能可能产生负面影响;此外,有机材料在芯片制造过程中可能会发生收缩或翘曲,导致芯片产生缺陷。随着更多的硅芯片被封装在塑料基板上,翘曲的风险也会增加。
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