阿斯麦与 SK 海力士拟合作开发 EUV 光刻机氢气回收技术

阿斯麦与SK海力士拟合作开发EUV光刻机氢气回收技术韩国产业通商资源部12月13日表示，总部位于荷兰的阿斯麦公司（ASML）计划扩大与韩国芯片制造商的业务合作。除ASML计划与三星电子共同投资1万亿韩元（约合7.04亿欧元）在韩国建芯片研究中心外，ASML还与韩国第二大芯片制造商SK海力士签署谅解备忘录，以开发回收极紫外（EUV）光刻机中使用的氢气的技术，以降低极紫外线光刻机能耗。

ASML正在开发hyper-NA EUV光刻机

ASML正在开发hyper-NAEUV光刻机 他表示，在未来十年内，ASML将构建一个集成低数值孔径、高数值孔径和超数孔径EUV系统的单一平台。这一举措被视为减少工艺步骤数量、降低晶圆加工成本和能源消耗的关键。VandenBrink进一步强调了Hyper-NAEUV工具的重要性，指出它能够简化复杂的双重图案工艺，降低生产难度。他解释说，这种高分辨率工具的可用性对于半导体制造行业至关重要。值得注意的是，高数值孔径EUV（high-NA）光刻技术目前正处于起步阶段。ASML自去年12月开始出货高数值孔径工具，目前仅英特尔一家采用，而台积电则表示短期内不会采用。为了推动该技术的研发和应用，ASML将在几周内正式在费尔德霍芬开设高数值孔径实验室，该实验室将与Imec共同运营，为芯片制造商提供该工具的早期使用权。事实上，该实验室的系统已经投入使用，并成功打印了有史以来第一个10纳米线阵图案。据VandenBrink的最新更新，该系统已经能够产生8nm线阵图案，接近该工具的最大分辨率。这一成果进一步证明了ASML在EUV光刻技术领域的领先地位和持续创新的能力。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1431859.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1431859.htm

阿斯麦已在韩国开设EUV光刻机培训中心 全球培训能力将提升30%

阿斯麦已在韩国开设EUV光刻机培训中心全球培训能力将提升30%新开通的极紫外光刻机培训中心，在首尔以南约42公里的龙仁市，占地1445平方米，设有洁净室、办公空间等，旨在培训维护和修理高精度和复杂极紫外光刻机的技术人员。在龙仁市新开通的极紫外光刻机培训中心，是阿斯麦在韩国的第二个培训中心。这一中心开通之后，阿斯麦在全球的极紫外光刻机技术人员的培训能力，预计将提升30%。阿斯麦在韩国的首个培训中心，建在首尔以南约45公里的华城，在2018年就已开通。他们目前也在华城建设集维修中心、培训中心、维修部件研发中心、教育和体验中心于一体的芯片集群，投资1.81亿美元，相关的建设预计在2024年年底完成。作为当前全球唯一的极紫外光刻机供应商，阿斯麦在韩国开设极紫外光刻机培训中心，也并不意外，三星电子和SK海力士是他们极紫外光刻机的重要客户，三星电子在晶圆代工业务上已大量使用，SK海力士也已大量订购，M16厂在2021年就已开始安装。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1360405.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1360405.htm

阿斯麦 High-NA EUV 光刻机取得重大突破，成功印刷 10 纳米线宽图案

阿斯麦High-NAEUV光刻机取得重大突破，成功印刷10纳米线宽图案https://www.ithome.com/0/762/554.htmASML公司在声明中表示：“我们位于埃因霍芬的高数值孔径EUV系统首次印刷出10纳米线宽（denseline）图案。此次成像是在光学系统、传感器和移动平台完成粗调校准后实现的。接下来我们将致力于让系统达到最佳性能表现，并最终在现实生产环境中复制这一成果。”

ASML 首次公开展示 High NA EUV 光刻机

ASML首次公开展示HighNAEUV光刻机2月10日，ASML在荷兰总部向媒体展示新一代HighNAEUV光刻机TwinscanEXE:5000。这台光刻机尺寸等同于一台双层巴士；重达150吨，相当于两架空客A320客机；价值高达3.5亿欧元（约合27亿元人民币）；全套系统需要250个货箱装运，需要250名工程人员、历时6个月才能安装完成，不仅价格高昂也相当耗时。TwinscanEXE:5000可以制造8nm线宽电路，从而实现晶体管密度比前一代提高至2.9倍。https://laoyaoba.com/n/893942

绕开EUV光刻机 美国实现0.7nm芯片：真有那么神奇？

绕开EUV光刻机美国实现0.7nm芯片：真有那么神奇？近日，一则美国制造出了0.7纳米芯片的芯片在笔者的朋友圈传播。与此同时传播的新还有类似绕开EUV光刻机、美国打造全球分辨率最高光刻系统。这究竟是个什么新闻？从现阶段看EUV光刻机会是怎样的一个未来？让我们来还原以下这个新闻本身。PC版：https://www.cnbeta.com/articles/soft/1320915.htm手机版：https://m.cnbeta.com/view/1320915.htm