蔚来、小鹏等自研智驾芯片将流片

蔚来、小鹏等自研智驾芯片将流片 蔚来汽车自研的智能驾驶芯片已经流片。有知情人士透露，芯片团队已经领了军令状，明年新车 ET9 一定要上自家芯片。小鹏自研的智驾芯片已经送去流片，预计 8 月回片。理想智驾芯片也将于年内完成流片。（36 氪）

华为四重曝光工艺专利公开，国产5nm芯片有戏

华为四重曝光工艺专利公开，国产5nm芯片有戏 去年国外权威科技媒体对通过双重曝光实现的7nm工艺麒麟芯片分析后认为，制造良率可能在50%，而通过SAQP实现的5nm芯片，良率可能低至20%左右。 2023-11-28

蔚来、小鹏等自研智驾芯片将流片，上车进入倒计时

蔚来、小鹏等自研智驾芯片将流片，上车进入倒计时 蔚来汽车自研的智能驾驶芯片“神玑NX9031”已经流片，“目前正在测试。”有知情人士透露。流片，意味着芯片从设计阶段转向实际制造，这是芯片规模量产与商业的关键前提。按照规划，神玑9031将于2025年一季度首搭在蔚来旗舰轿车ET9上。“芯片团队已经领了军令状，明年新车ET9一定要上神玑9031，压力很大。”有知情人士说道。同时，小鹏汽车自研的智驾芯片已经送去流片，“预计8月回片。”有知情人士透露，理想汽车的智驾芯片“舒马赫”也将于年内完成流片。

华为公开四重曝光工艺专利 猜测能造5nm芯片

华为公开四重曝光工艺专利 猜测能造5nm芯片 比如为了造出2nm级工艺芯片，ASML已经打造了0.55 NA的新一代EUV极紫外光刻机，价格高达惊人的4亿美元左右。极其复杂的现代光刻机的一小部分在受到外部条件严重制约的情况下，以华为为代表的国内半导体企业已经不可能接触到这些尖端工艺，只能另辟蹊径，比如先进封装技术，比如多重曝光技术。简单地说，多重曝光就是将芯片电路掩膜图案的蚀刻分成多次完成，可以使用相对落后的技术和设备，达成和更先进工艺类似甚至更先进的结果，比如用7nm设备造出5nm芯片。其实，多重曝光也不是新鲜事物，半导体巨头们都尝试过，但它太过于复杂，需要执行的步骤更多，良品率和质量都难以保障。比如说，Intel第一代10nm工艺就尝试过多重曝光，最终也没能成功，对应的处理器(Cannon Lake)最终被迫取消，第二代成功量产但性能也达不到要求，频率根本就上不去，甚至无法用于桌面台式机。再比如，Intel即将量产的18A 1.8nm工艺，就因为等不到ASML的新一代高NA光刻机，只能使用现有设备加双重曝光来实现。华为这项专利早在2021年9月就申请了，正是华为被美国宣布制裁后的几个月。显然，华为早就有了技术储备，在危难时刻几乎立即就开始行动，深入相关研究，如今专利公开则意味着华为和相关行业伙伴已经取得了实质性的突破，甚至可能已经投入实用！华为这次公开的专利显示，其自对准四重图案化工艺可以分为七个步骤：1、在待刻蚀层的表面依次形成第一抗反射层、第一牺牲层、第二抗反射层和第一图案化硬掩膜层；2、对第一图案化硬掩膜层进行光刻形成第二图案化硬掩膜层；3、基于第二图案化硬掩膜层为掩膜对第二抗反射层和第一牺牲层进行刻蚀，形成第二图案化牺牲层；4、去除第二图案化硬掩膜层和第二抗反射层，并基于第二图案化牺牲层形成第三图案化硬掩膜层；5、对第三图案化硬掩膜层进行光刻形成第四图案化硬掩膜层；6、基于第四图案化硬掩膜层对第一抗反射层和待刻蚀层进行刻蚀，形成图案化的待刻蚀层。7、去除第四图案化硬掩膜层和第一抗反射层。也就是说，华为把传统一次完成的工作拆分成了四次，需要多达四层蚀刻，其难度可想而知。华为在专利中表示：“实施本申请实施例，可以提高电路图案设计的自由度。”外媒猜测，华为应该是和中芯等联合搞定的自对准四重图案化技术，完全可以造出5nm工艺的芯片。 ... PC版： 手机版：

上车倒计时 消息称蔚来、小鹏等自研智驾芯片将流片

上车倒计时 消息称蔚来、小鹏等自研智驾芯片将流片 报道称，蔚来汽车的自研智能驾驶芯片“神玑NX9031”已经开始流片，并正在进行测试，计划在2025年第一季度，将神玑9031首次应用于其旗舰轿车ET9上。此外，小鹏汽车的自研智驾芯片也已送去流片，预计8月份回片，而理想汽车的智驾芯片项目代号为“舒马赫”，预计同样将在今年内完成流片。官方信息显示，蔚来神玑NX9031是一款5纳米工艺、拥有超过500亿晶体管的智能驾驶芯片，于2023年9月发布。蔚来表示，通过自研的NPU，该芯片能高效运行各类AI算法，李斌曾表示，他们的目标是用一颗自研芯片达到当前业界四颗旗舰智能驾驶芯片的性能，这意味着蔚来的芯片需要与算力超过千Tops的芯片竞争。报道还支持，蔚来自2020年起组建了超过800人的芯片团队，负责人是华为海思出身，直接向蔚来硬件副总裁白剑汇报。除了蔚来，小鹏和理想也在加紧自研智驾芯片，小鹏在与Marvell合作不顺后，转而与索喜合作进行芯片设计。而理想则在去年开始加强芯片团队建设，目前约有200人，值得一提的是，理想的芯片技术负责人秦东，是新势力三家中唯一没有华为海思背景的高层。 ... PC版： 手机版：