下午察：中国拟建巨型芯片工厂？

下午察：中国拟建巨型芯片工厂？香港《南华早报》星期一（9月25日）报道，中国正计划用一种新型粒子加速器光源，建造一座容纳多台光刻机的大型工厂，以实现芯片制造本土化。报道称，中国计划建造的单个粒子加速器有两个篮球场大小，目前清华大学团队正和河北雄安新区政府讨论，为这一项目敲定建设地点。报道还引述科学家称，这项技术可以让中国超越美国的制裁，并成为半导体芯片行业的新领导者。

韩国SK海力士改造中国无锡芯片厂计划因美国反对而遇险

韩国SK海力士改造中国无锡芯片厂计划因美国反对而遇险三位知情人士表示，SK海力士的生产计划要求公司以荷兰艾司摩尔(ASML)的最新极紫外光(EUV)微影技术的芯片制造机为无锡厂的一个量产设施进行升级。无锡这家工厂对全球电子行业至关重要，因其生产SK海力士约半数的动态随机存取记忆体芯片，占全球总量的15%。一位了解SK海力士在中国运营情况的消息人士说，随着两到三年后新型芯片在SK海力士的生产中占据更大份额，该公司将需要EUV光刻机来控制其成本并加速生产。美国官员不希望该过程中使用的先进设备进入中国。（）

中国在芯片技术方面悄然取得进展，以减少对先进 ASML 光刻机的依赖

中国在芯片技术方面悄然取得进展，以减少对先进ASML光刻机的依赖据知情人士透露，中国的北方华创科技集团上个月开始研发光刻系统，中国本土的半导体设备制造商试图在不使用荷兰巨头阿斯麦最新设备的情况下生产先进芯片，这一突破可能会挫败美国遏制中国芯片制造能力的企图。这些努力涉及中国半导体供应链的多个参与者，并取得了初步研究进展，华为技术有限公司上个月申请的一项专利披露了一种称为“自对准四重图案化(SAQP)”的技术，该技术通过在硅片上多次蚀刻线路，提高晶体管密度，进而增强芯片性能。这项专利结合了先进的蚀刻和光刻技术，“可以提高电路图案设计的自由度”。彭博社曾报道，利用SAQP技术，使用深紫外光刻(DUV)设备中国就可以制造出5纳米级芯片，而无需只有阿斯麦尔才能供应的更先进的极紫外(EUV)设备。知情人士透露，北方华创去年12月就拟定计划，要于今年3月开始研发光刻系统。北方华创发言人表示，报道的消息并不准确，但没有进一步说明详情。——

ASML首席技术官认为当前光刻技术或走到尽头

ASML首席技术官认为当前光刻技术或走到尽头近年来，ASML站到了世界半导体技术的中心位置。去年ASML两次提高了生产目标，希望到2025年，其年出货量能达到约600台DUV（深紫外光）光刻机以及90台EUV（极紫外光）光刻机。由于持续的芯片短缺，交付问题每天都在发生，而且ASML还遇到了柏林工厂火灾这样的意外。PC版：https://www.cnbeta.com/articles/soft/1321349.htm手机版：https://m.cnbeta.com/view/1321349.htm

阿斯麦已在韩国开设EUV光刻机培训中心 全球培训能力将提升30%

阿斯麦已在韩国开设EUV光刻机培训中心全球培训能力将提升30%新开通的极紫外光刻机培训中心，在首尔以南约42公里的龙仁市，占地1445平方米，设有洁净室、办公空间等，旨在培训维护和修理高精度和复杂极紫外光刻机的技术人员。在龙仁市新开通的极紫外光刻机培训中心，是阿斯麦在韩国的第二个培训中心。这一中心开通之后，阿斯麦在全球的极紫外光刻机技术人员的培训能力，预计将提升30%。阿斯麦在韩国的首个培训中心，建在首尔以南约45公里的华城，在2018年就已开通。他们目前也在华城建设集维修中心、培训中心、维修部件研发中心、教育和体验中心于一体的芯片集群，投资1.81亿美元，相关的建设预计在2024年年底完成。作为当前全球唯一的极紫外光刻机供应商，阿斯麦在韩国开设极紫外光刻机培训中心，也并不意外，三星电子和SK海力士是他们极紫外光刻机的重要客户，三星电子在晶圆代工业务上已大量使用，SK海力士也已大量订购，M16厂在2021年就已开始安装。...PC版：https://www.cnbeta.com.tw/articles/soft/1360405.htm手机版：https://m.cnbeta.com.tw/view/1360405.htm

台积电CTO预计高NA光刻后时代的芯片制造成本会暴涨

台积电CTO预计高NA光刻后时代的芯片制造成本会暴涨在接受Bits&Chips采访时，台积电首席技术官MartinvandenBrink预计——在不远的将来，半导体光刻技术或走到尽头。按照现有的路线图，台积电将在极紫外光刻（EUV）之后转向高数值孔径。该公司现正携手Imec，准备2023年迎来其首台研究型High-NA扫描仪。PC版：https://www.cnbeta.com/articles/soft/1321049.htm手机版：https://m.cnbeta.com/view/1321049.htm